天天速讯:极紫外杂散光_关于极紫外杂散光概略
来源:互联网     时间:2023-06-02 06:51:16


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1、在极紫外光刻中,反射镜表面粗糙度引起的散射光被称为极紫外杂散光。

文章到此就分享结束,希望对大家有所帮助。

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